高温真空炉的分子泵机组操作流程|洛阳炬星窑炉有限公司

高温真空炉的分子泵机组操作流程

作者：洛阳炬星窑炉有限公司发布时间：2015-08-15 浏览次数：4570

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在高温真空炉开始升温前检查水路各阀门是否能打开，水流是否通畅。做好高温炉开机前的准备工作后，打开手动阀，就可以按下总电源控制面板上的“机械泵开”按钮启动机械泵，这时“机械泵开”按钮显示灯亮。开真空计，等待真空计低真空部分显示＜10Pa时（如有旁抽，打开手动旁抽阀，由旁抽管路对系统预抽真空。待低真空显示＜10Pa时，关闭手动旁抽阀。开主阀。真空显示＜10Pa时）打开分子泵电源，按下分子泵控制电源面板上的“启动”按钮，启动分子泵。待分子泵达到正常转速后5～7分钟，这时应该已经达到真空计电离规允许启动的真空度，按下真空计控制电源电离部分的“开电离”按钮，观察真空计高真空数值。

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